泄漏的危害性(上)
泄漏的大小、部位和泄漏的物質不同，設備或器件因功能不同。泄漏所帶來的危害水平和危害表示也就不同。泄漏的危害性主要表示在以下幾方面。
1破壞真空設備或真空器件的工作真空度
因此必需預先將真空設備和真空器件預抽到相應的或超聲波檢漏儀更高的真空度。一般真空設備自身帶有抽氣系統，真空設備和器件要求在一定的真空度下工作。設備工作時真空系統仍然對其抽氣，微小的泄漏存在一般不會影響其工作真空度，但是比較嚴重的泄漏任然動平衡儀會破壞設備的平衡壓力，干擾甚至破壞設備的正常工作。如：加速器真空度的破壞，將損失粒子的能量；鍍膜機真空度地破壞，將影響膜層質量；對于電真空器件來說，制造過程中用相應的真空系統將它抽到一定的真空度后便將它密封，如果有器件有漏，器件中的壓力將隨時間上升，漏孔越大，器件中的壓力上升得越快，由于電真空器件的體積一般很小，因此微小的漏孔也將很快使器件內的真空度破壞，使器件無法工作。

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